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半導体関連　４探針抵抗率 / シート抵抗測定器

４探針抵抗率/シート抵抗測定器 CMT-SR2000N

CMT-SR2000N 4探針シート抵抗測定器はシリコンウェハの抵抗率/シート抵抗を全自動で測定するシステムです。
本システムはPC制御による簡単な操作、レシピ設定で測定し各種データ処理ができます。

高性能・低価格！

特徴

• XYZ‐軸 全自動設定
• 自動・マニュアル測定レンジ設定
• 8インチウェハ対応
• ＰＣ制御ソフトウェア
• 各種ﾃﾞｰﾀ分析（2D, 3D ﾃﾞｰﾀマップ）
• ASTM & SEMI測定モード

構成

• 4探針プローブユニット
• Z‐軸ロボットアーム
• 回転ステージ (XY-軸)
• タッチパネルキーボード
• リモートコントロールポート
• 真空ポンプコネクタ(200mmHg)
• ソフトウェア (Windows 98/XP/NT Ver.)
• 電源コード

仕様

シート抵抗

• 測定範囲： 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq
• 電流源： 10nA to 100mA
• 電圧計：0V to 2,000mV
• 測定精度： ± 0.5 % (VLSI standard wafer, when 23°C)
• 4探針プローブ(Jandel社製） 
  Pin spacing : 25 mils ∼ 50 mils by 5mil increments
  Pin Load : 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
  Pin radius : 12.5 micron∼500 microns (polished 2μ diamond)
  Tolerance : ± 0.01 mm
  素材：タングステンカーバイド φ0.40 mm
• 測定速度：約 3 ± 1 sec/point

抵抗率

• 測定範囲: 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm

半導体関連　極低温プローバシステム

441型　極低温プローバシステム

http://www.mdc4cv.com

    

MDC社製441型極低温プローバシステムは液体窒素温度77°Kにおいての、高感度容量測定および電流測定等に最適です。
C-V測定システムとの組合せでドーピングプロファイル、C-V測定を高精度に測定できます。
また各種デバイスを極低温下でのインターフェイストラップやI-V測定を容易に行うことができます。

仕様

ユーティリティ

• 使用電源: 顕微鏡用イルミネーションランプのみ
• 冷却剤: 低圧液体窒素
• パージ: 乾燥窒素　最大圧 2 PSI (0.15 Kg/cm2)
• 真空圧: 5-15" (100-400 mm) Hg.
• サイズ: W 19" (49 cm); D　22" (56 cm); H 12"(33 cm)

熱伝対

• 熱電対: typeE
• 温度範囲: -200°C to 40°C.

半導体関連　C-V / I-V 測定システム、B-T測定システム

Materials Development Corporation社   http://www.mdc4cv.com/

MDC社は、いち早く商用のC-V / I-Vプロッティングシステムを開発・製造・販売を行っている会社です。 また、電極の作成が不要な水銀プローブを単体でも製造・販売しております。
今日までに、世界で1500システム以上の販売実績があり、マーケットリーダー的存在にあります。
本システムは半導体の容量（Capacitance）と電圧（Voltage）を計測することにより半導体内の不純物量等を測定するシステムで、品質管理および半導体特性試験に用いられます。

半導体関連　B-T 測定システム

オプションにて、B-T(Bias-Temperature)測定も可能です。測定温度範囲：室温～400℃（最大）

半導体関連　802B型シリーズ水銀プローブ

802B型水銀プローブ  http://www.mdc4cv.com/

測定時に電極の製作が不要な為、水銀プローブの需要が高まっています。
また、電極の製作が不要な為、Low-k素材などのサンプルを容易に測定でます。

仕様

• 本体寸法: 15cm×33cm×18cm(幅×奥行き×高さ)　＊6インチウェハ用
  重量: 約3kg
• ダークボックス:約22cm×45cm×20cm(幅×奥行き×高さ)
  重量: 約2kg
• コネクタ: BNCコネクタ
• 電極直径: 約760um(出荷時に正確な値が添付されます。)
• 面積再現性: 1.1%
• リング電極面積:ドット電極面積比=48.6:1
• 最小サンプルサイズ:φ15mm 又は □15mm

MDC社では、水銀電極を単体でも販売しています。

• Low k 膜の誘電率測定に最適
  
• ゲート電極不要802型シリーズ水銀電極
  
• 6、8、12インチウェハ対応
• コンタクト面積再現性：1.1％
• 電極径：760μm（一般値）
• オプション：比抵抗値参照ウェハ　WS-RES