半導体関連 ４探針抵抗率 / シート抵抗測定器
４探針抵抗率/シート抵抗測定器 CMT-SR2000N
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CMT-SR2000N 4探針シート抵抗測定器はシリコンウェハの抵抗率/シート抵抗を全自動で測定するシステムです。
本システムはPC制御による簡単な操作、レシピ設定で測定し各種データ処理ができます。
高性能・低価格！
特徴
- XYZ‐軸 全自動設定
- 自動・マニュアル測定レンジ設定
- 8インチウェハ対応
- ＰＣ制御ソフトウェア
- 各種ﾃﾞｰﾀ分析（2D, 3D ﾃﾞｰﾀマップ）
- ASTM & SEMI測定モード
構成
- 4探針プローブユニット
- Z‐軸ロボットアーム
- 回転ステージ (XY-軸)
- タッチパネルキーボード
- リモートコントロールポート
- 真空ポンプコネクタ(200mmHg)
- ソフトウェア (Windows 98/XP/NT Ver.)
- 電源コード
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仕様
シート抵抗
- 測定範囲： 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq
- 電流源： 10nA to 100mA
- 電圧計：0V to 2,000mV
- 測定精度： ± 0.5 % (VLSI standard wafer, when 23°C)
- 4探針プローブ(Jandel社製）
Pin spacing : 25 mils ∼ 50 mils by 5mil increments
Pin Load : 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
Pin radius : 12.5 micron∼500 microns (polished 2μ diamond)
Tolerance : ± 0.01 mm
素材：タングステンカーバイド φ0.40 mm - 測定速度：約 3 ± 1 sec/point
抵抗率
- 測定範囲: 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm