半導体関連 極低温プローバシステム
441型 極低温プローバシステム
MDC社製441型極低温プローバシステムは液体窒素温度77°Kにおいての、高感度容量測定および電流測定等に最適です。
C-V測定システムとの組合せでドーピングプロファイル、C-V測定を高精度に測定できます。
また各種デバイスを極低温下でのインターフェイストラップやI-V測定を容易に行うことができます。
仕様
ユーティリティ
- 使用電源: 顕微鏡用イルミネーションランプのみ
- 冷却剤: 低圧液体窒素
- パージ: 乾燥窒素 最大圧 2 PSI (0.15 Kg/cm2)
- 真空圧: 5-15" (100-400 mm) Hg.
- サイズ: W 19" (49 cm); D 22" (56 cm); H 12"(33 cm)
熱伝対
- 熱電対: typeE
- 温度範囲: -200°C to 40°C.